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title: レーザーマイクロジェットで革新的な難削材加工を実現！
description: レーザーマイクロジェットは層流水ジェットの界面での全反射現象を利用し、レーザービームを材料に照射。熱影響を抑え、より効率の高い除去加工が可能となります。水レーザーは通常のレーザーと違う特徴を有しており、セラミックス、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素などの難加工材料、ウェハー材料、特殊金属の加工に使われています。
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[![ナラサキ産業株式会社](https://denki.narasaki.co.jp/hubfs/raw_assets/public/Narasaki_April2022/images/logo.png "ナラサキ産業株式会社")](https://www.narasaki.co.jp/)

# レーザーマイクロジェット®は

# セラミックス等難削材加工を容易にする革新的なレーザーです。

![水レーザー①](https://denki.narasaki.co.jp/hubfs/%E6%B0%B4%E3%83%AC%E3%83%BC%E3%82%B6%E3%83%BC%E2%91%A0.jpg "水レーザー①")

パルスレーザーとウォータージェットによる冷却により熱影響の少ない加工を実現 

 

レーザー・マイクロジェット®は層流水ジェットの界面での全反射現象を利用して、レーザービームを材料に照射します。

これにより、熱影響を抑えるとともに、ウォータージェットにより効率の高い除去加工が可能となります。

この「水レーザー」は通常の大気中でのレーザーと違う特徴を有しており、セラミックス、ダイヤモンド、立方晶窒化

ホウ素などの難加工材料、シリコンをはじめとするウェハー材料、インコネルなどの特殊金属の加工に使われています。

[![レーザーマイクロジェット-2](https://denki.narasaki.co.jp/hs-fs/hubfs/%E3%83%AC%E3%83%BC%E3%82%B6%E3%83%BC%E3%83%9E%E3%82%A4%E3%82%AF%E3%83%AD%E3%82%B8%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88-2.png?width=750&name=%E3%83%AC%E3%83%BC%E3%82%B6%E3%83%BC%E3%83%9E%E3%82%A4%E3%82%AF%E3%83%AD%E3%82%B8%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88-2.png "レーザーマイクロジェット-2")](https://denki.narasaki.co.jp/laser-microjet#shiryou)

## ● レーザーマイクロジェット®特徴

ウォータージェット＋レーザ

![水レーザー②-1](https://denki.narasaki.co.jp/hubfs/%E6%B0%B4%E3%83%AC%E3%83%BC%E3%82%B6%E3%83%BC%E2%91%A1-1.jpg "水レーザー②-1")

水チャンバーより最小30μの層流水を精製します。そのウォータージェットの中心に更にレーザーをワークに向けて照射していきます。

全反射現象

![水レーザー③](https://denki.narasaki.co.jp/hubfs/%E6%B0%B4%E3%83%AC%E3%83%BC%E3%82%B6%E3%83%BC%E2%91%A2.jpg "水レーザー③")

光ファイバーと同様の原理を用い、層流水ジェットの界面での全反射現象を利用してレーザーをワークに向けて照射。

532㎚：グリーンレーザー

![水レーザー④](https://denki.narasaki.co.jp/hubfs/%E6%B0%B4%E3%83%AC%E3%83%BC%E3%82%B6%E3%83%BC%E2%91%A3.jpg "水レーザー④")

グリーンレーザーは水への吸収がほとんど無い為、エネルギーを損なうことなくワークへ届きます。

### ● 原理について

![加工イメージ①](https://denki.narasaki.co.jp/hubfs/%E5%8A%A0%E5%B7%A5%E3%82%A4%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8%E2%91%A0.jpg "加工イメージ①")

ウォータージェットが

材料表面に衝突します。加工時は絶えず

ウォータージェットが

照射されています。

 

![加工イメージ②](https://denki.narasaki.co.jp/hubfs/%E5%8A%A0%E5%B7%A5%E3%82%A4%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8%E2%91%A1.jpg "加工イメージ②")

レーザーが放出され、

ウォータージェットに

誘導され材料に衝突、

吸収がはじまります。

 

 

　

![加工イメージ③](https://denki.narasaki.co.jp/hubfs/%E5%8A%A0%E5%B7%A5%E3%82%A4%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8%E2%91%A2.jpg "加工イメージ③")

吸収されたレーザーは

プラズマを生成し、

材料表面が蒸発熱分解

され、かつ絶え間ないウォータージェットの

反動圧力により溶融物が排出される。

 

![加工イメージ④](https://denki.narasaki.co.jp/hubfs/%E5%8A%A0%E5%B7%A5%E3%82%A4%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8%E2%91%A3.jpg "加工イメージ④")

レーザーの放出が

止まっている間も

ウォータージェットは

絶えず材料表面に衝突しプラズマを破壊し材料を冷却し続けます。

 

#### ● 受託加工のご案内

![ウェハーダウンサイジング](https://denki.narasaki.co.jp/hs-fs/hubfs/%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%8F%E3%83%BC%E3%83%80%E3%82%A6%E3%83%B3%E3%82%B5%E3%82%A4%E3%82%B8%E3%83%B3%E3%82%B0.jpg?width=586&height=313&name=%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%8F%E3%83%BC%E3%83%80%E3%82%A6%E3%83%B3%E3%82%B5%E3%82%A4%E3%82%B8%E3%83%B3%E3%82%B0.jpg "ウェハーダウンサイジング")

![SiC穴加工](https://denki.narasaki.co.jp/hs-fs/hubfs/SiC%E7%A9%B4%E5%8A%A0%E5%B7%A5.jpg?width=502&height=380&name=SiC%E7%A9%B4%E5%8A%A0%E5%B7%A5.jpg "SiC穴加工")

レーザーマイクロジェット®の加工性を体感してみませんか？

切断、穴あけ、溝、くり抜き等様々な形状加工、また5軸を用いての特殊形状に対する加工も可能です。

支給材での対応、当社が加工用材料から調達しての追加工など様々なニーズに対応致します。

 

【対応材質例】

・ウェハー加工

Si、SiC、GaN、GaAS、InP、GaP、CdTe、SiGe等

・各種セラミックス加工

Al2O3、ZrO2、SiC、SiN、AlN等

・各種金属

SUS、Al、Fe、Au、Ag、Cu、CuBe、Mg、W、WC、CuW、Mb、Ni、Ti、Co、Cr　等

・複合材

カーボンファイバー等

・高硬度材

CBN、PCD、Diamond等

※樹脂やガラス等についてはお問合せ下さい。

##### ● 加工機のご案内

MCS300／MCS500

高速で正確

・超合金(8㎜厚)の穴加工(Φ0.76㎜)が70秒で可能。

・高い機械精度(誤差±1.5㎛)で切削幅は最小30㎛。

・穴加工で高いアスペクト比を実現(最大1：20)

 

冷却と除去

・ウォータージェット冷却により実質的な熱影響がない

・堆積物やバリの無いクリーンな仕上がり

・円筒ビームによる完全に平行な切り口と穴加工が可能

 

ユーザーフレンドリー

・レーザーの焦点制御は不要

・保護膜は不要

MCS300

MCS500

![MCS300](https://denki.narasaki.co.jp/hubfs/MCS300.jpg "MCS300")

![MCS500](https://denki.narasaki.co.jp/hubfs/MCS500.jpg "MCS500")

![MCS300スペック表](https://denki.narasaki.co.jp/hubfs/MCS300%E3%82%B9%E3%83%9A%E3%83%83%E3%82%AF%E8%A1%A8.jpg "MCS300スペック表")

![MCS500スペック表](https://denki.narasaki.co.jp/hubfs/MCS500%E3%82%B9%E3%83%9A%E3%83%83%E3%82%AF%E8%A1%A8.jpg "MCS500スペック表")

##### ● レーザーマイクロジェット®資料ダウンロード

![資料](https://denki.narasaki.co.jp/hubfs/%E8%B3%87%E6%96%99.png "資料")

![資料2](https://denki.narasaki.co.jp/hubfs/%E8%B3%87%E6%96%992.png "資料2")

![資料3](https://denki.narasaki.co.jp/hubfs/%E8%B3%87%E6%96%993.png "資料3")

[![ポータルサイト](https://denki.narasaki.co.jp/hubfs/%E3%83%9D%E3%83%BC%E3%82%BF%E3%83%AB%E3%82%B5%E3%82%A4%E3%83%88.png "ポータルサイト")](https://denki.narasaki.co.jp/ja/portal?hsLang=ja-jp)

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