レーザーマイクロジェット®は

セラミックス等難削材加工を容易にする革新的なレーザーです

水レーザー①
パルスレーザーとウォータージェットによる冷却により熱影響の少ない加工を実現 
 
レーザー・マイクロジェット®は層流水ジェットの界面での全反射現象を利用して、レーザービームを材料に照射します。
これにより、熱影響を抑えるとともに、ウォータージェットにより効率の高い除去加工が可能となります。
この「水レーザー」は通常の大気中でのレーザーと違う特徴を有しており、セラミックス、ダイヤモンド、立方晶窒化
ホウ素などの難加工材料、シリコンをはじめとするウェハー材料、インコネルなどの特殊金属の加工に使われています。
レーザーマイクロジェット-2

● レーザーマイクロジェット®特徴

ウォータージェット+レーザ
水レーザー②-1
水チャンバーより最小30μの層流水を精製します。そのウォータージェットの中心に更にレーザーをワークに向けて照射していきます。
全反射現象
水レーザー③
光ファイバーと同様の原理を用い、層流水ジェットの界面での全反射現象を利用してレーザーをワークに向けて照射。
532㎚:グリーンレーザー
水レーザー④
グリーンレーザーは水への吸収がほとんど無い為、エネルギーを損なうことなくワークへ届きます。

● 原理について

加工イメージ①
ウォータージェットが
材料表面に衝突します。加工時は絶えず
ウォータージェットが
照射されています。

 

加工イメージ②
レーザーが放出され、
ウォータージェットに
誘導され材料に衝突、
吸収がはじまります。
 
 
 
加工イメージ③
吸収されたレーザーは
プラズマを生成し、
材料表面が蒸発熱分解
され、かつ絶え間ないウォータージェットの
反動圧力により溶融物が排出される。
 
加工イメージ④
レーザーの放出が
止まっている間も
ウォータージェットは
絶えず材料表面に衝突しプラズマを破壊し材料を冷却し続けます。
 

● 受託加工のご案内

ウェハーダウンサイジング
SiC穴加工
レーザーマイクロジェット®の加工性を体感してみませんか
切断、穴あけ、溝、くり抜き等様々な形状加工、また5軸を用いての特殊形状に対する加工も可能です。
支給材での対応、当社が加工用材料から調達しての追加工など様々なニーズに対応致します。
 
【対応材質例】
・ウェハー加工
Si、SiC、GaN、GaAS、InP、GaP、CdTe、SiGe等
・各種セラミックス加工
Al2O3、ZrO2、SiC、SiN、AlN等
・各種金属
SUS、Al、Fe、Au、Ag、Cu、CuBe、Mg、W、WC、CuW、Mb、Ni、Ti、Co、Cr 等
・複合材
カーボンファイバー等
・高硬度材
CBN、PCD、Diamond等
※樹脂やガラス等についてはお問合せ下さい。
● 加工機のご案内
MCS300/MCS500
高速で正確
・超合金(8㎜厚)の穴加工(Φ0.76㎜)が70秒で可能。
・高い機械精度(誤差±1.5㎛)で切削幅は最小30㎛。
・穴加工で高いアスペクト比を実現(最大1:20)
 
冷却と除去
・ウォータージェット冷却により実質的な熱影響がない
・堆積物やバリの無いクリーンな仕上がり
・円筒ビームによる完全に平行な切り口と穴加工が可能
 
ユーザーフレンドリー
・レーザーの焦点制御は不要
・保護膜は不要
MCS300
MCS500
MCS300
MCS500
MCS300スペック表
MCS500スペック表
● レーザーマイクロジェット®資料ダウンロード
資料
資料2
資料3
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